雙側(cè)滑軌式快速退火爐

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簡要描述：雙側(cè)滑軌式快速退火爐1200℃主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長。

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    雙側(cè)滑軌式快速退火爐1200℃

    主要用途：高溫快速熱處理退火爐主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長。

    雙側(cè)滑軌式快速退火爐1200℃

    產(chǎn)品用途：

    高溫快速熱處理退火爐主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長，其它快速熱處理工藝。

    產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：

    1、采用進口鎢燈管為發(fā)熱元件，升溫速度高達200℃/s;

    2、爐膛材料采用進口陶瓷纖維，內(nèi)有進口氧化鋁涂層，抗熱沖擊；

    3、保護管采用高純石英管，可沖入多種氣體；

    4、石英管兩端采用不銹鋼密封法蘭，耐高溫、耐腐蝕；

    5、滑軌采用鋁合金*滑道；

    6、爐體采用雙層空氣隔熱技術(shù)，配有自動冷卻風(fēng)扇，降低爐體外殼溫度；

技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱	單位	型號
產(chǎn)品名稱	單位	JZ-5-10	JZ-6-10	JZ-7-10
額定功率	kw	9	9	9
額定電壓	v	220	220	220
溫度	℃	1000	1000	1000
工作溫度	℃	≤950	≤950	≤950
相數(shù)	相	三	三	三
加熱區(qū)	mm	350	350	350
石英管	直徑	Φ50	Φ60	Φ70/80
石英管	長度	L=1300	L=1300	L=1300
氣體流量	L/min	0~7	0~7	0~7
爐膛材料		進口纖維	進口纖維	進口纖維
滑軌長度	mm	1350	1350	1350
真空度	可選機械泵（6.67pa）或擴散泵（6.67*10-2）
標配件	高溫鉤，高溫堵頭，石英舟，高溫手套。

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